接觸式
通過將測(cè)針的**與待測(cè)物體接觸來測(cè)量部件的表面狀況。
系統(tǒng)檢測(cè)并記錄測(cè)針在跟蹤測(cè)量物體表面時(shí)的垂直變化(位移)。
使用接觸式粗糙度計(jì)時(shí),高精度測(cè)量精細(xì)特征的關(guān)鍵在于盡可能減小測(cè)尖的半徑,并保持較低的接觸壓力。
測(cè)尖的直徑通常應(yīng)小于 10 微米,其理想形狀是帶有球形測(cè)尖的圓錐體。
測(cè)針與被測(cè)物的直接接觸可提供清晰的波形,并能進(jìn)行遠(yuǎn)距離測(cè)量。
另一方面,還應(yīng)該注意以下幾點(diǎn):
觸針磨損
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由于它與被測(cè)物體直接接觸,因此會(huì)因摩擦而產(chǎn)生磨損。觸針的形狀直接影響測(cè)量結(jié)果,因此根據(jù)其狀況可能需要對(duì)其進(jìn)行拋光(或更換)。
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物體上的壓痕
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由于硬質(zhì)材料制成的測(cè)針在持續(xù)壓力下與物體接觸,可能會(huì)損壞被觀測(cè)物體。 高速移動(dòng)時(shí)也要小心。
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*小測(cè)量值
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粗糙度測(cè)量?jī)x可測(cè)量的形狀取決于測(cè)針的針尖直徑。 無法測(cè)量小于測(cè)尖直徑的溝槽。
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非接觸式
非接觸式粗糙度計(jì)使用光而不是觸筆。
基于不同原理的測(cè)量方法有多種,如共焦法、白光干涉法等。
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?共焦法:通過將光照射到測(cè)量對(duì)象上并讀取反射光來進(jìn)行測(cè)量。之所以如此稱呼,是因?yàn)樗哂斜环Q為“共焦光學(xué)系統(tǒng)”的結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)利用針孔來消除失焦并實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
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?白色干涉法:向大范圍的測(cè)量對(duì)象照射白光。該光的一部分被分離并照射到參考表面(鏡子)上,并且根據(jù)來自參考表面的反射光和物體組合時(shí)出現(xiàn)的干涉條紋來計(jì)算形狀。
在非接觸式方法中,除了表面粗糙度測(cè)量之外,還有許多進(jìn)行形狀測(cè)量的方法。
將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為三維數(shù)據(jù),進(jìn)行高度、平面度、平面輪廓等各種測(cè)量。
非接觸式解決了接觸式的觸針磨損、目標(biāo)物體壓痕、*小測(cè)量值限制等問題。另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量時(shí)間短,可以獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。
另一方面,它不擅長(zhǎng)測(cè)量光線無法到達(dá)或無法正常獲得反射的物體,因此在測(cè)量形狀復(fù)雜的物體時(shí),有必要改變物體的擺放方式或?qū)ζ溥M(jìn)行切割,使其露出頂面。
考慮到這些,選擇適合測(cè)量目標(biāo)的設(shè)備非常重要。